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如何降低真空镀膜表面应力?森丰小编告诉你,在真空炉体内,真空膜层表面会存有一种表面应力,这种力在很多物质上都存在,所以膜层也不例外,但由于膜层的厚度非常的薄,所以能够承受的力也是很小的。表面应力就是对其拉伸或弯曲时因改变膜层表面的面积而产生的力度,而这种力度超过了膜层能承受的范围,就会引起崩膜。所以降低膜层的表面应力防止崩膜。
可以从三个方面进行调整:第一个是降低蒸发的速度,真空镀膜可以把蒸发的速度适当的降低,使靶材成膜没那快,提高膜层的质量。第二个是延长除气的时间,因为基材里存有某些气体,水分或者杂质,除气的目的就是把这些在镀膜前排出,以保证真空镀膜机炉内的洁净度,炉内洁净度不够高的话,也会影响膜层的质量。第三个是降低烘烤的温度,虽说烘烤温度高,可以加速除气,但过高的温度也会影响到基材本身的性能,表面应力也就更难控制了。通过以上三个不同的方法,都可以有效的降低真空镀膜的表面应力,能大大降低膜层的崩膜现象。
【Keywords】 真空镀膜表面应力
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