真空镀膜加工表面的清洗解决特别关键，会直接危及到电镀工艺的产品质量。加工件进到真空前一定要保证镀前清洗干净，表面污染来源于产品工件在加工、传送、包裝过程中所黏附的各种各样粉尘、润滑油、 汽车机油、抛光蜡、植物油脂、汗渍等物，为了更好地防止加工全过程中产生的不良，真空镀膜加工生产厂家大部分可选用除油蜡或有机化学清冼方式将其除掉。

对经过清洗解决的加工件表面，不可以在大气污染中储放，要用封闭式器皿或保洁服务柜贮存，以减少尘土的脏污。用刚空气氧化的铝器皿贮存玻璃衬底，可使碳氧化合物蒸汽的吸咐降至最少。由于这种器皿优先选择吸咐碳氧化合物。真空镀膜加工针对高度不稳定的、对水蒸汽比较敏感的表面，一般应储存在真空干燥箱中。

真空镀膜加工消除镀膜车间内的尘土，设定无尘车间，保持车间内部高洁净是真空镀膜加工工艺对环境的规定。空气相对湿度大的地域，除镀前要对基片、真空泵车间内各部件用心清洗外，还需要开展烘烤除气。要避免油带到真空内，留意油扩散泵返油，对加温输出功率高的扩散泵务必采用挡油对策。